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最新消息 > 全自動化無塵車間 BOE生產線深度接觸

文章来源:http://www.eepw.com.cn/article/279357.htm

  晶圓代工業者GlobalFoundries的Fab8是美國規模最大的半導體晶圓廠之一,座落于紐約州Malta的LutherForest科技園區,面積233英畝(acres)。目前Fab8是GlobalFoundries全球共9座晶圓廠中采用最先進制程的據點,正生產14奈米晶片并準備投入10奈米制程;以下是EETimes美國版記者受邀參觀Fab8、深入晶圓廠內部的一手報導。本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/279203.htm  新興的物聯網(IoT)應用可能不需要先進制程,并因此讓現今28奈米主流制程的生命周期再延長;不過GlobalFoundries的高層主管并不擔心需求會停滯,盡管新一代制程節點技術更加復雜、成本也更高昂。Fab8總經理TomCaulfield表示,28奈米與14奈米節點的生命周期確實會很長,但半導體產業仍在繼續依循摩爾定律(MooresLaw)的腳步,不只推動制程的微縮,也追求更高興能與更低的成本。    GlobalFoundries美國紐約州Fab8晶圓廠區外觀  Malta這座小鎮位于紐約州首府Albany北方約40分鐘車程,Fab8原本是AMD的設廠預定地,在2009年正式開幕,并取得紐約州政府的大力資助;該廠總投資金額高達115億美元。在AMD逐漸退出Fab8的投資之后,現在該晶圓廠是100%屬于阿拉伯聯合大公國阿布達比(AbuDhabi)政府旗下投資公司Mudbadala。  Fab8負責開發28奈米以下制程,月產6萬片12寸晶圓(GlobalFoundries的新加坡晶圓廠生產180奈米~40奈米制程節點,德國Dresdon據點則生產48奈米~22奈米晶片);該晶圓廠的無塵室面積約40萬平方英尺,分三階段開發。晶圓廠擴建工程仍持續進行中,動員約1,500人力,而在14奈米制程生產線開發的全盛時期曾達到4,000人力。  Fab8的晶圓廠據點建筑與基礎建設總監GeraldGoff表示,晶圓廠的建筑是非常困難的,而如Fab8這樣大規模的晶圓廠建案在當地是前所未見;而Fab8的基礎建設與人力來自于全美各地,包括德州等擁有半導體產業豐富經驗的區域。    Fab8針對下一世代10奈米制程節點生產線的第三階段擴建正在進行中  Fab8使用NationalGrid提供的區域電網,并擁有(megawatts)的柴油備用發電機,可供應晶圓廠所需的214兆瓦電力;此外該廠在冬季每小時消耗475,000立方英尺(cubicfeet)的氣體,每日用水量350萬加侖(gallon),有來自附近泉水與哈德遜河(HudsonRiver)的充足水源。  而Fab8有個與技術無關的大麻煩──總是會有野生雁鴨飛到該廠的供電網路里,因為身體潮濕誤觸電線而被烤熟;為此Goff只好在廠區附近的池塘放數個誘鳥器,以阻止野生雁鴨靠近他們的電源線。  雖然鄰近水源會到會飛的麻煩,但這仍是一個興建大型建筑物的好據點;例如該廠有一座從日本運來的壓縮機塔,就能透過船運再以卡車接駁。Goff補充指出,內陸城市若要有效率地運輸大型設備就困難得多。  GlobalFoundries的Fab8有三層樓高的無塵室,員工有2,700人,以輪班制維持24小時生產線運作;生產線工程師進入寬廣的黃光區之前需經過消毒程序,卸妝、在黏蠅紙上來來回回走很多次以清除鞋底的灰塵、并穿上只露出眼睛的無塵衣。    無塵室裝備包括兩層手套、套在鞋子外面的塑膠鞋套以及護目鏡,在溫度可能高達攝氏70度的廠房內讓人汗流浹背  生產線上的晶圓傳送盒(FOUP)能攜帶20片12寸晶圓,在數英哩的高空軌道上經過擴散、清洗、微影、蝕刻、拋光、薄膜與量測等數道程序;但GlobalFoundries不愿透露整個晶片制作過程所需的時間,或是剛飛過我們頭頂的晶片是誰家的。  微影設備是無塵室內最昂貴的工具,看起來就像大冰箱一樣;大多數的晶片制造流程是類似的,并根據制程節點的不同而有一些變化。各種不同的晶片通常是使用相同的工具,而且每套設備可能會負責4~6種產品線。    無塵室內的半導體設備之昂貴程度,可能讓它每平方英尺的價格媲美紐約最貴豪宅(此圖片由GlobalFoundries提供)  紐約州政府對GlobalFoundries的Fab8第一階段開發(包括研發、裝機),投資了6.8億美元;而在經過層層審核之后,紐約州政府也同意基于薪資、財產投資、就業稅收抵免等,給予GlobalFoundries約13~15億美元的賦稅優惠。Fab8為紐約州創造了1,250個工作機會,自2009年開幕以來,公共投資金額每1美元約可回收2.21美元營收;該公司預計到2015年,該投資報酬率可達到三倍。汽車防盜機相關文章:汽車防盜機原理

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